Kasutatavate keemiliste elementanalüüsi materjalide tahke või vedela nondestructive füüsilise meetod. Näidis on kiiritatud footonite poolt või piisav kogus energiat selle emiteerimiseks elemendi põhjustada laetud osakesed (fluorestseerivad) oma iseloomuliku röntgenikiirguse rea spektri. Avastamise süsteem võimaldab energiaallikate tekitatava ridu ja nende osatähtsus määramine. Elementide näidise identifitseeritakse nende spektrijoonte energia või lainepikkustel kvalitatiivse analüüsi ja osatähtsus on seotud nende kontsentratsioonid kvantitatiivse analüüsi jaoks. Arvutid on laialdaselt kasutusel väli, automatiseeritud andmete kogumise ja x-ray andmete vähendamise massiprotsenti- ja aatomi-protsendise keemilise koostise või pindala mass (filmid).